供應商：北京昊然偉業光電科技有限公司

1.非接觸式技術檢測拋光平面和球面的精度(功率、不規則度) ⒉.測試表面半徑 3.檢測目標傳輸波前畸變(TWD)

供應商：英國雷尼紹公司(Renishaw)

儀器簡介：Renishaw的新型XL-80激光干涉儀能夠滿足和超越實際工業規范水平，提供4m/s最大的測量速度和50kHz記錄速率。即使在最高的數據記錄速率下，系統準確性可達到±0.5ppm（線性模式）和1納米的分辨率，這些改進意味著工程師仍能使用可溯源性激光干涉的獨特優勢，幫助解決現代化機器設計問題。 系統精度比原有的對應產品ML10激光系統有所提升，在整個日常溫度、氣壓和濕度不同工作環境下，均可達到±0.5ppm的精度。環境讀數使用XC-80智能傳感系統進行讀取，每7秒更新一次激光讀數補償值。

供應商：深圳市中圖儀器股份有限公司

產業發展和升級使得微電子、微機械、光學和現代超精密加工工業對檢測精度的要求越來越高，同時要求更大的檢測量程，而其他檢測方法難以勝任，只有激光干涉檢測技術可以在大量程內達到較高的測量精度，所以在制造領域得到廣泛應用。在航空器的研制、試驗、生產過程中，運用到大量的精密直線位移傳感器，激光干涉儀可以對這些傳感器進行JING準的檢測中圖儀器推出的SJ6000激光干涉儀，采用高穩頻氦氖激光器、雙縱模熱穩頻技術、多參數環境補償技術、高速數字信號處理系統等技術，通過與不同的光學組件結合，實現對直線度、垂直度、角度、平面

供應商：青島森泉光電有限公司

提供5種型號，光束直徑范圍從1到50 mm 定性地確定光的準直性 磁鐵球將板固定在底座上 適用的光束直徑刻在板上

供應商：英國雷尼紹公司(Renishaw)

儀器簡介： ML10Gold高性能激光干涉儀是機床、三坐標測量機及其它定位裝置精度校準 用的高性能儀器。由于采用了獨特的ZG設計及zuixin的光電子技術，使ML10Gold 激光干涉儀比市場上其它型號的激光干涉儀具有更高的性能和更先進的任選功能。 ML10Gold激光干涉儀提供有進行機器位置、幾何精度測量的全套光學器件。 ML10Gold激光測量系統所有功能都設計與Laser10軟件配合使用。除了測 量和分析診斷功能外，此軟件包的標準配置還包括

供應商：英國雷尼紹公司(Renishaw)

儀器簡介： QC10球桿儀是雷尼紹公司提供的用于機床精度校準量儀中的一種新儀器,既可 單獨使用,又可以與激光干涉儀互補使用.QC10球桿儀是評價機床動態輪廓精度的 精密儀器.該項重要技術迅速地被國際上機床檢驗標準所采納,如ISO230和美國 ANSIB5.54等. 該項快速簡單的檢測,可提供出機床各種誤差的數據,并對其進行自動分析, 給出各種誤差優化表. 眾多的機床用戶一致認為QC10球桿儀系統為其定期檢測機床工作性能提供了

供應商：英國雷尼紹公司(Renishaw)

儀器簡介：Renishaw的新型XL-80激光干涉儀能夠滿足和超越實際工業規范水平，提供4 m/s最大的測量速度和50 kHz記錄速率。即使在最高的數據記錄速率下，系統準確性可達到±0.5ppm（線性模式）和1納米的分辨率，這些改進意味著工程師仍能使用可溯源性激光干涉的獨特優勢，幫助解決現代化機器設計問題。 系統精度比原有的對應產品ML10激光系統有所提升，在整個日常溫度、氣壓和濕度不同工作環境下，均可達到±0.5 ppm的精度。環境讀數使用XC-80智能傳感系統進行讀取，每7秒更新一次激光讀

供應商：英國雷尼紹公司(Renishaw)

XR20-W是雷尼紹技術成熟的RX10回轉軸校準裝置的全新替代產品，對于大量采用四軸、五軸高端機床的制造業用戶來說，無疑為其回轉軸的精度檢測提供了全新的利器。在過去15年中，RX10是公認的對回轉軸進行高精度和高重復性性能評估的強大工具。XR20-W經過全新設計，具有靈活性強、使用方便、測量速度快及完全無線操作等優點。 XR20-W無線型回轉軸校準裝置集雷尼紹獨有的先進軸承和光柵技術以及藍牙（Bluetooth）無線技術等特點于一體。與現有的RX10相比

供應商：英國雷尼紹公司(Renishaw)

雷尼紹宣布繼信譽良好的QC10球桿儀系統之后推出新一代產品。QC10球桿儀在全球廣泛應用于機床精度和伺服控制性能評估。 QC20-W球桿儀采用雷尼紹全新設計、開發的直線位移傳感器和藍牙 (Bluetooth) 無線技術。這種設計具有使用方便和耐用性強的優點，從而使QC20-W可用于“防護門關閉”狀態下進行測試，此前同類有連線的系統需在“防護門開啟”狀態下測試，可能造成安全和程序上的問題。 &

供應商：英國雷尼紹公司(Renishaw)

鑒于回轉軸精度的重要性，最近地國家和國際標準均制定了嚴格的回轉軸測量規范。RX10與XL-80或ML10激光系統（及角度測量光學鏡組）組合使用時，回轉軸校準精度可達到1秒。 一個控制裝置將RX10與您的PC和XL-80或ML10連結起來，實現全自動測試。25分鐘內即可對回轉軸做一次完整檢查，比自準直儀和多面棱體等傳統方法節約了5個多小時的時間?？焖僮詣有?轉臺的鎖定、解鎖和旋轉運動均為電動，能夠實現自動準直和跟蹤，無需操作人員

供應商：上海昭沅儀器設備有限公司

在科學技術飛速發展的信息時代，光電技術、信息技術（IT）和集成電路技術（IC）在各個領域不斷產生新的應用。其中，光纖技術在通信和傳感領域的廣泛應用，已經體現出依靠“電”進行信息提取和傳輸的方式所無法比擬的優勢。光纖通信和光纖傳感技術作為新的激光應用技術，已經成為工程應用和研究熱點。由于光纖技術發展迅速，能夠作為研究開發平臺的儀器很少，一般一套設備只能完成一個功能。測SY設備不能作為功能設備使用，功能性設備不具備測SY條件。為了改變光纖技術研究中存在的設備單一狀況，研究開發了“全光纖多功能研究開發平臺”。&

供應商：美國自動精密工程公司

在5個自由度上測量、分析主軸誤差的短、長期變化，是識別和控制機床主軸熱變形的根本工具。

供應商：美國自動精密工程公司

Spindlecheck主軸動態誤差分析儀是API公司發明的、符合ASME B5.54標準、用于測量機床主軸運動誤差的高品質儀器。

供應商：美國自動精密工程公司

檢查、校準加工ZX旋轉軸偏擺角和傾斜角。

供應商：美國自動精密工程公司

無線操作，快速評價、診斷CNC精度。

供應商：美國自動精密工程公司

一次安裝即可同時測得6個參數（1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差），工作效率提升5倍！

供應商：深圳市中圖儀器股份有限公司

一.激光干涉儀概述激光干涉儀是激光在計量領域中成功的應用之一，利用光的干涉實現測量，具有非接觸、無損檢測的特點，在不同領域都有極為廣泛的應用，如利用F-P干涉儀和半導體激光二極管測量大型精密離心靜態臂長；利用電子散斑干涉技術實現物體表面微小形變的非接觸式測量、李永干涉合成孔徑雷達實現對地表變形進行測量；利用相干梯度敏感干涉測量技術對靜態斷裂現象的測量；利用非共面多光束干涉可以在空間形成二維或三維周期性強度分布，從而被用來制作二維或三維光子晶體；利用全息干涉技術可用于位移及形變測量、應變與應力分析、缺陷或損

供應商：深圳市中圖儀器股份有限公司

一.激光干涉儀概述SJ6000激光干涉儀產品采用高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統得到干涉數據，將數據通過計算機進行顯示和動態分析。SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速

供應商：杭州譜鐳光電技術有限公司

瞬態(近紅外)激光波前畸變檢測干涉儀是將空間位相調制的共路剪切干涉技術與數字化波面高新計算技術相結合研制的新穎干涉系統，是浙江大學光電系現代光學儀器ZD實驗室、楊甬英等教授集多年基礎、數年攻關完成的目前國內首臺利用干涉方法僅需單幅干涉圖就可以高分辨率檢測各類高、低功率的脈沖激光、連續光波前畸變、檢測各類高精度大口徑精密表面的面形、動態檢測各種流體的變化等。儀器抗噪、抗干擾性好特別適合于現場的實時檢測。波前及面形的檢測分辨率高，可高精度測量較大的波前畸變量，可以用于瞬態圖象高速采

供應商：科德數控股份有限公司

　　角度干涉鏡放在激光頭和角度反射鏡之間的光路上。對于沿水平軸的俯仰測量，兩個光學元件都是垂直放置的，對于扭擺測量，兩個光學元件都是水平放置的。激光光束經角度干涉鏡的分光鏡分為兩束 A1 和 A2，光束 A1 直接穿過干涉鏡并從角度反射鏡的下半部反射回激光頭；光束 A2 通過角度干涉鏡的潛望鏡射到角度反射鏡的另一半后，再通過角度干涉鏡反射回到激光頭。角度測量是通過比較 A1 和 A2 之間的光程差完成的，即角度測量與激光頭和角度反射鏡之間的距離，以及兩個光學元件之間的距離無關。

供應商：深圳市中圖儀器股份有限公司

SuperViewW1白光干涉3d表面輪廓儀在同等放大倍率下，測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡?？筛采w8英寸及以下晶圓，定制版真空吸附盤，穩定固定Wafer；氣浮隔振+殼體分離式設計，隔離地面震動與噪聲干擾。

供應商：深圳市中圖儀器股份有限公司

中圖儀器SJ6000激光干涉儀測量儀具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點?？梢酝ㄟ^與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、平面度、垂直度、角度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，SJ6000激光干涉儀測量儀還可以對數控機床進行動態性能檢測，如可以測量數控機床的定位精度、重復定位精度、微量位移精度等動態參量，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有高精度和效率，而且及時處理數據，為機床誤差修正提供依據。測量