供應商：優尼康科技有限公司

P-7建立在P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

供應商：優尼康科技有限公司

P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能，適用于生產環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 P-170具有先進的圖案識別算法、增強的光學系統平臺，這保證了性能的穩定和系統間配方的無縫移植- 這是24x7生產環境的關鍵要求。

供應商：優尼康科技有限公司

該系統結合了UltraLite傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，因而具備出色的測量穩定性。 通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及帶光學變焦的分辨率相機等功能，程序設置簡便快速。 P-17具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可以支持2D或3D測量。 并通過圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。

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Alpha-Step D-600探針式輪廓儀支持臺階高度和粗糙度的2D及3D測量，以及翹曲度和應力的2D測量。 光學杠桿傳感器技術提供分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量，與材料特性無關。 可調節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。 通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的任何變化。

供應商：優尼康科技有限公司

Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。 光學杠桿傳感器技術提供分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量，與材料特性無關。 可調節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。 通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的任何變化。

供應商：優尼康科技有限公司

P-7建立在P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

供應商：上海爾迪儀器科技有限公司

布魯克DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創新性的設計，可以提供無與倫比的重現性，重現性低于4A。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年 Dektak 技術創新的頂峰，更加鞏固了其行業領先地位。通過整合其行業領先產品，DektakXT實現了最高性能。操作簡易，從研發到質量控制都有更好的過程控制。整合了技術突破到第十代 Dektak 臺階儀能夠在微電子，半導體，太陽能、超高亮度發光二極管（LED）、醫學、材料科學等行業實現納米級表面形貌測量。DektakXT 利用獨特的直接驅動掃描樣品臺，將測

供應商：上海愛儀通網絡科技有限公司

         德國布魯克DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）可以提供更高的重復性和分辨率，測量重復性可以到5?。臺階儀這項性能的到了過去四十年Dektak技術，更加鞏固了其行業。不論應用于研發還是產品測量，通過在研究工作中的廣泛使用，DektakXT能夠做到功能更強大，操作更簡易，檢測過程和數據采集更完善。第十代DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）的技術，使納米尺度的表面輪廓測量成為可能，從而可以廣泛的應用于微電子器件，半導體，電池，高

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儀器簡介： 該系統利用掃描探針顯微鏡光杠桿位移檢測技術和超平整參照面-大型樣品臺掃描技術，并與壓電陶瓷（PZT）掃描wan美結合，可以再不喪失精度的情況下，即得到超大樣品整體三維輪廓圖，又呈現局部三維形貌像。其中樣品臺掃描參考平面使用超高平坦度光學拋光平臺，有效解決了以往樣品臺掃面，由于絲杠公差引起的測試結果有亞微米量級的誤差。 三維表面形貌/輪廓儀主要應用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq

供應商：上海昭沅儀器設備有限公司

KOSAKA LAB ET 150臺階儀設備特點： KOSAKA ET150基于Windows XP操作系統為多種不同表面提供全面的形貌分析，包括半導體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、薄膜/化學涂層以及平板顯示等。使用金剛石（鉆石）接觸測量的方式來實現高精度表面形貌分析應用。ET150能精確可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。 ET 150配備了各種型號，提供了通過程序控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD原位

供應商：上海恒一精密儀器有限公司

儀器簡介：Excellent in accuracy, stability and functionality, ET4000 is a fully automatic, most appropriate for measurement of micro figure, step height and roughness of FPD, wafers, hard disks, and other nano-order application. ET4000 series can be selected f

供應商：深圳市科時達電子科技有限公司

KOSAKA SE 500-59表面粗糙度測定機是一款KOSAKA新推出的經濟型便攜式臺式兩用機型。根據您的需求任意組合，并可對多種零件表面的粗糙度，波紋度以及原始輪廓進行多參數評定，是一款帶有用控制器的高精度，高性能，表面粗糙度測量儀器，簡單操作，顯示一目了然。      設備特點 ?   顯示一目了然，操作簡單?   配備高分辨率的超大TFT LCD屏幕，彩色圖標顯示，觸控

供應商：深圳市科時達電子科技有限公司

佳重復性與線性度?   采用直動式檢測方式?   可避免圓弧補正誤差?   可避免Bearing間隙誤差?   臺階測定重復性：1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm?    Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)   高分辨率? 縱軸高分辨率0.1nm ? 橫軸高分辨率0.1u

供應商：東莞市廣豐計量儀器有限公司

日本三豐表面粗糙度儀SJ-310各的粗度格表示。大型LCD幕窗，易於清晰取。使用控式面板(具抗污性)，操作易。任意度定能。按PRINT即可藉由藏式印表列印出量之果(可不同之列印方式)。藏充池，本方便也可收置出器。有富的：自校正能、理、合否判定能、客自行能判定能。型號SJ-310貨號平移范圍12.5MM測量范圍300um(±150um)驅動／檢測元件探測儀:178-390/178-395*測頭:金剛石(測頭半徑:5um/2um*)測量力:4mN/0.75mN*探測方式:微感應評定輪廓P,R,DIN4776

供應商：佰匯興業（北京）科技有限公司

德國BMT CMM 粗糙度測量系統用于CMM探針的小型的粗糙度測量儀，可大幅度地降低測量成本。 技術參數ISO 3274參考標準系統精確度等級1測量原理針頭、測量頭參考標準數據來源平板玻璃精確度1 %測量誤差0.5 %可測量長度12.5 mm針尖角度90°參數ISO, DIN 13565形貌、彎曲度、粗糙度ISO, DIN 15565核心粗糙度JIS B-0601粗糙度Daimler N 31007R3z過濾器Gauss, M50, M75, VDA2008數據導出USB, QDAS充電在膠卷盒中測量頭尺

供應商：佰匯興業（北京）科技有限公司

德國BMT LMT密封軸導程測量系統 導程結構是密封軸在加工過程中進給方向上產生的微小的類似螺紋的結構。目前只有奔馳公司對此參數進行檢測。 導程測量解決的是軸的密封表面問題。次設備對導致漏油的不良導程結構進行測量和檢查。 符合Mercedes-Bens MBN 31007-7標準。應用案例● 圓柱型桿軸密封區的檢測● 密封性能的檢查檢測● 密封軸結構的檢測和評估產品特點● 專為檢測車間地面而設計● 可以檢測到最小的鉛結構● 縱向的工件夾具，更加節約空間● 工件自動旋轉● 電動化的測量頭● 自動對測得的數值

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臺階儀 厚度47nm 標準樣品,三次重復測量結果疊加 (無任何減噪修正，原始數據輸出） 500um掃描, 2um探針NanoMap-PS是一款專門為nm級薄膜測量研發的無需防震臺即可測量的接觸式臺階儀 AFM同款位移傳感器，超高精度 壓電陶瓷驅動掃描，無內源振動 自集成主動反饋式防震系統 真正無需額外輔助防震系統，實現高重復性納米測量 納米量級科學研究的必備產品NanoMap-PS臺階儀可以應用在半導體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導體，OLED，生物醫藥，PCB封裝等領域的薄膜厚度，臺階

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臺階儀NanoMap-500LSNanoMap 500LS臺階儀特點 該款臺階儀是常規的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術的wan美結合 雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到zuiyou化的小區域三維測圖 針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。 在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察 針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動

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臺階儀NanoMap-D是一款兼備了白光干涉非接觸式和探針接觸式的臺階儀。NanoMap-D三維臺階儀是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款測量計量型設備。既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。該款儀器可以看做是表面研究的萬用表，采用接觸式和非接觸式功能集于一身的設計特點，彌補兩種模式的局限，發揮表面形貌儀的測量極限。光學非接觸式有速度快，直接三維成象，不破壞樣品等特點。探針接觸模式方便快捷，制樣簡單，測量材料廣泛。兩種模式相結合可以對更多形狀、性狀、材質的試樣進行表面形貌的研究。臺

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臺階儀NanoMap-500LS接觸式三維表面臺階儀NanoMap-500LSNanoMap 500LS探針三維臺階儀特點 常規的探針臺階儀和掃描探針顯微鏡技術的wan美結合 雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到zuiyou化的小區域三維測圖 針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。 接觸式探針臺階儀在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣

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NanoMap-D 臺階儀NanoMap-D三維臺階儀是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款測量計量型設備。既可以用于科學研究，也可以用于工業產品的檢測。該款儀器可以看做是表面研究的萬用表，采用接觸式和非接觸式功能集于一身的設計特點，彌補兩種模式的局限，發揮表面形貌儀的測量極限。光學非接觸式有速度快，直接三維成象，不破壞樣品等特點。探針接觸模式方便快捷，制樣簡單，測量材料廣泛。兩種模式相結合可以對更多形狀、性狀、材質的試樣進行表面形貌的研究。臺階儀又名三維表面形貌或輪廓儀主要應用在金屬材料、生物材料、聚合

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臺階儀， NanoMap-LS接觸式三維表面臺階儀NanoMap-LSNanoMap -LS探針接觸式 臺階儀特點探針臺階儀是利用探針掃描樣品表面，儀器記錄探針隨樣品表面高低起伏狀態，整合數據得到臺階高度，表面形貌，溝槽深度等特征。雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到zuiyou化的小區域三維測圖針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從150mm X 150m 。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。接觸式探針臺階儀在掃描過程中結合彩色光學

供應商：aep Technology中國辦事處

臺階儀， NanoMap-LS 接觸式三維表面臺階儀NanoMap-LS 探針接觸式 臺階儀特點：探針臺階儀是利用探針掃描樣品表面，儀器記錄探針隨樣品表面高低起伏狀態，整合數據得到臺階高度，表面形貌，溝槽深度等特征。雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描)針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從150mm X 150m樣品臺掃描掃描范圍到100mm納米級拋光光學參考平晶實時彩色光學照相機直接觀測雙光學傳感器 縱向測量范圍最大至1000um，最小到分辨率0.1nm恒定微力接觸 最小0.03mg簡

供應商：南京冉銳科技有限公司

美國Rtec臺階儀特點：一臺設備上集成非接觸式白光干涉形貌儀+高精度原子力顯微鏡白光干涉白光干涉能夠進行高分辨率圖像的掃描，對表面進行分析。兩種工作模式-相移和白光掃描模式,能夠高精度測量粗糙或者光滑的樣品表面。 **的技術來實現高Z向分辨率 白光干涉法和相移兩種模式實現Z方向的高分辨率。 快速圖像處理系統達到400萬像素 四色LED相機 更大的垂直測量范圍達10毫米 150 mmx150mm馬達控制平臺。 樣品粗糙度，粗糙表面高度拋光后的光潔度以及表面結構測量，如陶瓷、塑料和輥鋼。 SPIP專業數據分析

供應商：南京冉銳科技有限公司

美國Rtec雙模式臺階儀特點：一臺設備上集成非接觸式白光干涉形貌儀+高精度原子力顯微鏡白光干涉白光干涉能夠進行高分辨率圖像的掃描，對表面進行分析。兩種工作模式-相移和白光掃描模式,能夠高精度測量粗糙或者光滑的樣品表面。 **的技術來實現高Z向分辨率 白光干涉法和相移兩種模式實現Z方向的高分辨率。 快速圖像處理系統達到400萬像素 四色LED相機 更大的垂直測量范圍達10毫米 150 mmx150mm馬達控制平臺。 樣品粗糙度，粗糙表面高度拋光后的光潔度以及表面結構測量，如陶瓷、塑料和輥鋼。 SPIP專業數

供應商：北京德華振峽科技有限公司

采用經特殊處理的鋁和花崗巖材質， EK130氣浮旋轉臺采用空氣靜壓軸承設計，LT氣浮轉臺滿足同心軸向徑向操作的最高要求， LT公司的氣浮旋轉臺規格： 標準直徑60毫米，100毫米或150毫米氣浮轉臺內孔可選。轉臺利用水冷卻設計，使各款氣浮旋轉臺不僅耐用，而且具有熱穩定性。 EK130氣浮旋轉臺可通過一個高轉速（> 150轉）和低于0.1弧秒的精度結合實現超精密測量。這些測量單元的應用領域通常涉及內，外直徑測量，而且作為一個超精密機床附加旋轉軸。工件可以精確地固定到

供應商：北京丹貝爾儀器有限公司

儀器簡介：JohnParker’s博士發明的測試 方法，PPS采用微處理機控制， 可以快速，準確測試出紙張在 印刷過程各種條件下的表面粗糙度。 試樣夾在高靈敏度測試頭和特殊設 計的背襯組件之間。測試氣流通過 紙張表面阻力直接由內部計算成粗糙度以微米為結果單位顯示。 zuixin型的設備擴展了夾樣壓力范圍和測試能力，雙面同時測試提高了功效。大容量信息的提供為我們節約了時間，**的模擬了印刷過程，節約了印刷成本。 技

供應商：深圳市今浩儀器設備有限公司

HRP?-260是一款高分辨率cassette-to-cassette探針式輪廓儀，可提供幾納米至300微米的臺階高度測量功能。 P-260配置支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D及3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 HRP-260配置的功能與P-260相同，并增加了可以生產類似AFM掃描結果的高分辨率平臺。 HRP平臺具有先進的圖案識別算法，可增強系統間程序的移植，這是24x7生產環境的關鍵要求。

供應商：深圳市今浩儀器設備有限公司

Tencor P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，可提供幾納米至一毫米的臺階高度測量功能，適用于生產環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。 Tencor P-170具有先進的圖案識別算法、增強的光學系統和先進的平臺，這保證了性能的穩定和系統間配方的無縫移植- 這是24x7生產環境的關鍵要求

供應商：深圳市今浩儀器設備有限公司

Tencor P-17支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達200mm而無需圖像拼接。

供應商：深圳市今浩儀器設備有限公司

Tencor P-7支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產和研發環境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，其掃描可達150mm而無需圖像拼接。

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Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺階高度。D-600 還支持2D和3D的粗糙度測量，以及用于研發和生產環節的2D翹曲度和應力測量。D-600 包含一個帶有200 毫米樣品載臺的電動樣品臺和具有增強影像控制的高級光學器件。

供應商：深圳市今浩儀器設備有限公司

Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。 創新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量，與材料特性無關。 可調節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。 通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的任何變化。

供應商：東莞市長安歐準特精密機械經營部

半導體使用布魯克Bruker 探針式臺階儀,外觀設計獨特，成色新，使用范圍廣泛，高精度，納米級檢測儀。

供應商：北京中海遠創材料科技有限公司

臺階高度：幾納米至1200μm 低觸力：0.03至15mg 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭 梯形失真校正：消除側視光學系統引起的失真 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差 緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀 主要應用 臺階高度：2D臺階高度 紋理：2D粗糙度和波紋度 形式：2D翹曲和形狀 應力：2D薄膜應力 應用領域 大學，研究實驗室和研究所 半導體和復合半導體 SIMS：二次離子質譜 LED：發光二極管 太陽能 MEMS：微電子機械系統 汽車 醫療設備

供應商：廣州領拓儀器科技有限公司

布魯克 DektakXT 臺階儀（探針式表面輪廓儀）是一項創新性的設計，可以提供更高的重復性和分辨率，測量重復性可以達到5?。臺階儀這項性能的提高達到了過去四十年Dektak技術創新的頂峰，更加鞏固了其行業領xian地位。不論應用于研發還是產品測量，通過在研究工作中的廣泛使用，DektakXT一定能夠做到功能更強大，操作更簡易，檢測過程和數據采集更完善。第十代DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）的技術突破，使納米尺度的表面輪廓測量成為可能，從而可以廣泛的應用于微電子器件，半導體，電池，高亮度發光二極管的研發以及材料科學領域。